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nm、3nm继续延伸。
另外值得一提，早在20世纪80年代，大约是1985年，就有学者开始研究EUV光刻技术。
只可惜技术一直达不到要求，而且要�
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另外值得一提，早在20世纪80年代，大约是1985年，就有学者开始研究EUV光刻技术。
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